超聲波檢漏儀之氣鎮真空泵的作用原理

泵工作中，經氣鎮閥放入適量的非可凝性氣體到泵的壓縮區，超聲波檢漏儀以降低被抽氣體中可凝性蒸汽在泵內凝結程度的機械真空泵叫氣鎮泵。

用旋片泵抽出除含有大量可凝性蒸汽（如水蒸氣）時，超聲波檢漏儀在壓縮排氣階段當可凝蒸汽的分壓超過該溫度下的飽和蒸汽壓時，蒸汽就凝結，凝結的液體與泵油混合后循環至低壓側時，超聲波檢漏儀由于壓力降低，液體就會蒸發，使泵的極限壓力上升，并影響泵的抽氣性能，因此一般旋片泵不能抽除含有蒸汽的混合氣體。為改善泵抽除蒸汽的性能，在泵的排氣側裝有稱為氣鎮閥的摻其裝置，可定時將一定量的空氣放入壓縮區，使混合氣體在壓縮到推開排氣閥壓力時，蒸汽分壓仍小于該溫度下課凝蒸汽的飽和壓力，因而蒸汽不會凝結，并能隨其他氣體儀器被排至泵外。

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