超聲波檢漏儀–真空計(jì)檢漏法
利用真空系統(tǒng)本身帶的真空計(jì)可以檢漏。超聲波檢漏儀這種方法不需要增加什么一起設(shè)備，是使用較普遍的一種檢漏方法。
在電力系統(tǒng)中，凝汽器真空嚴(yán)密性就是用真空計(jì)來(lái)檢測(cè)的。由于系統(tǒng)真空度非常低，系統(tǒng)內(nèi)的壓強(qiáng)非常高，測(cè)量真空壓強(qiáng)所能使用的真空壓強(qiáng)所能使用的真空計(jì)種類收到限制，電力系統(tǒng)中比較適用的真空計(jì)是機(jī)械壓力計(jì)。
機(jī)械壓力計(jì)又稱彈性變形真空規(guī)，超聲波檢漏儀它利用了彈性元件隨氣壓變化所產(chǎn)生的變形來(lái)測(cè)量壓差的一種真空計(jì)。
彈性元件在氣體分子靜壓力作用下會(huì)產(chǎn)生變形，氣體分子作用力越大，超聲波檢漏儀彈性元件的變形也越大。因此，可測(cè)量彈性元件的變形大小來(lái)量度壓強(qiáng)。根據(jù)彈性元件和測(cè)量方法的不同，可構(gòu)成不同彈性變形真空計(jì)，主要有彈簧管式和膜盒式真空計(jì)、電容式膜片真空計(jì)。此外，還有互感式、應(yīng)變式變形真空計(jì)。彈性變形真空計(jì)測(cè)量的是氣體分子作用力的大小，于氣體種類無(wú)關(guān)，可對(duì)壓強(qiáng)或壓差作絕對(duì)測(cè)量，是一種絕對(duì)真空計(jì)。選用合適的材料可做成耐腐蝕真空計(jì)。彈性變形真空計(jì)的壓強(qiáng)刻度不能用計(jì)算的方法求的，需借助于標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或校準(zhǔn)壓強(qiáng)裝置做出壓強(qiáng)刻度。
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