源自美國尖端科技的KM超聲波檢漏儀-分壓力真空機
某些情況下，超聲波檢漏儀確定各成分的分壓力是非常必要的例如在許多電子管、超聲波檢漏儀電子束管中，極少量的硫、氯就造成氧化物陰極的嚴重中毒。為了研究真空中的各種過程如吸氣、放氣、陰極激活、中毒、泄漏現象等，對各種氣體成分的分析已成為必不可少的手段。
此外，超高真空下氣體的成分經常極不相同，超聲波檢漏儀如果以干燥空氣或氮氣的規范曲線來讀取壓力，就會造成很大的誤差。如果能用一分壓力計將各成分的分壓力測出，根據道爾頓定量，這些分壓力相加之和就是系統的總壓力。
目前的分壓力真空計大多由于精密不夠，一般只用于分析氣體的成分以及各種成分所占比例，這種丈量分析儀器通常被稱為質譜計。一般的質譜計不能直接丈量各種氣體的分壓力，而必需對質譜儀先進行各種氣體成分的相對靈敏度，再丈量出各氣體成分的離子流數值，列出一系列線性方程，通過復雜的計算，或借助于電子計算機求出各種氣體成分的分壓力。
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